极材®

全氟醚 FFKM
Perfluoroelastomer FFKM

全氟化主链弹性体,兼具氟橡胶的弹性与PTFE的化学惰性。覆盖半导体、石化、航空航天等需要极端化学兼容性的密封场景。

-20~320 °C
适用温度
65-90 ShA
硬度范围
<15 %
压缩永久变形
黑/白/透明
颜色
Perfluoroelastomer FFKM

什么是全氟醚 FFKM

全氟化主链

C-F 键能 485 kJ/mol,无 C-H 键弱点。对 1800+ 化学品呈��性,耐强酸/强碱/有机溶剂/等离子体。

宽温域弹性

Tg 低至 -20°C 仍保持弹性,320°C 短期无显著热降解。TR10 值优于同类产品。

低释气特性

真空质量损失 <0.1%,适合半导体晶圆制造、薄膜沉积等高洁净要求环境。

可交联硫化

标准 O 圈 / 异形件 / 粘接复合均可加工。支持小批量定制,交期 2-4 周。

完整性能数据表

以下为典型值,完整 TDS(技术数据表)请联系工程师获取。

参数典型值测试标准
聚合物类型全氟化聚醚主链FTIR
氟含量≥72%元素分析
密度1.90-2.02 g/cm³GB/T 533
硬度 (ShA)65 / 75 / 80 / 90GB/T 531.1
拉伸强度≥12 MPaGB/T 528
扯断伸长率≥120%GB/T 528
压缩永久变形 (200°C/70h)<15%GB/T 7759
工作温度-20 ~ 320°C
耐等离子体性优(O₂/CF₄/NF₃)内部测试
真空质量损失<0.1%ASTM E595
体积电阻率>10¹⁴ Ω·cmGB/T 1692
TR10 (低温回缩)-5 ~ -15°CGB/T 7758

可选变体与规格

FFKM-65W

白色低释气
  • 硬度65 ShA
  • 温度-20~280°C
  • 压缩变形<12%

半导体晶圆制程、腔体密封

FFKM-75B

黑色通用型
  • 硬度75 ShA
  • 温度-15~300°C
  • 压缩变形<15%

化工泵阀、反应釜密封

FFKM-90H

高硬度耐压
  • 硬度90 ShA
  • 温度-10~320°C
  • 压缩变形<18%

深水采油树、超高压阀门

行业应用

半导体

晶圆传送腔、刻蚀腔体 O圈密封,耐等离子体侵蚀,低颗粒释放

石油化工

强酸强碱介质泵阀密封、反应釜人孔垫片、取样系统密封

航空航天

液压系统高温密封、燃油系统氟醚O圈、航天器推进剂阀

分析仪器

GC/HPLC进样口隔垫、质谱仪真空密封、超临界萃取密封

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