全氟化主链弹性体,兼具氟橡胶的弹性与PTFE的化学惰性。覆盖半导体、石化、航空航天等需要极端化学兼容性的密封场景。
C-F 键能 485 kJ/mol,无 C-H 键弱点。对 1800+ 化学品呈��性,耐强酸/强碱/有机溶剂/等离子体。
Tg 低至 -20°C 仍保持弹性,320°C 短期无显著热降解。TR10 值优于同类产品。
真空质量损失 <0.1%,适合半导体晶圆制造、薄膜沉积等高洁净要求环境。
标准 O 圈 / 异形件 / 粘接复合均可加工。支持小批量定制,交期 2-4 周。
以下为典型值,完整 TDS(技术数据表)请联系工程师获取。
| 参数 | 典型值 | 测试标准 |
|---|---|---|
| 聚合物类型 | 全氟化聚醚主链 | FTIR |
| 氟含量 | ≥72% | 元素分析 |
| 密度 | 1.90-2.02 g/cm³ | GB/T 533 |
| 硬度 (ShA) | 65 / 75 / 80 / 90 | GB/T 531.1 |
| 拉伸强度 | ≥12 MPa | GB/T 528 |
| 扯断伸长率 | ≥120% | GB/T 528 |
| 压缩永久变形 (200°C/70h) | <15% | GB/T 7759 |
| 工作温度 | -20 ~ 320°C | — |
| 耐等离子体性 | 优(O₂/CF₄/NF₃) | 内部测试 |
| 真空质量损失 | <0.1% | ASTM E595 |
| 体积电阻率 | >10¹⁴ Ω·cm | GB/T 1692 |
| TR10 (低温回缩) | -5 ~ -15°C | GB/T 7758 |
半导体晶圆制程、腔体密封
化工泵阀、反应釜密封
深水采油树、超高压阀门
晶圆传送腔、刻蚀腔体 O圈密封,耐等离子体侵蚀,低颗粒释放
强酸强碱介质泵阀密封、反应釜人孔垫片、取样系统密封
液压系统高温密封、燃油系统氟醚O圈、航天器推进剂阀
GC/HPLC进样口隔垫、质谱仪真空密封、超临界萃取密封